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干式螺桿真空泵原理是利用一對(duì)螺桿，在螺桿真空泵泵腔內(nèi)作同步反方向的高速運(yùn)轉(zhuǎn)，兩個(gè)轉(zhuǎn)子和泵體以及側(cè)蓋一起構(gòu)成了若干個(gè)室進(jìn)而達(dá)成吸排氣作用的抽氣機(jī)械設(shè)備。這些氣室有規(guī)律地從真空泵的進(jìn)氣口側(cè)往排氣口側(cè)“移動(dòng)”，這樣氣體就被以低速旋流的方式傳送出去。真空泵的持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)不會(huì)改變氣體的流向，這樣可以在一定限度內(nèi)將氣體可能夾帶的細(xì)小顆粒以及蒸汽抽送出去。
在干式螺桿真空泵工作時(shí)，兩螺桿相互直接沒(méi)有摩擦力的產(chǎn)生，泵腔內(nèi)無(wú)需潤(rùn)滑油，在運(yùn)行過(guò)程中機(jī)器平穩(wěn)，產(chǎn)生的聲音小。與等距螺桿真空泵相比，變螺距結(jié)構(gòu)的真空泵極限真空度更高，有著良好的間隙設(shè)計(jì)和連續(xù)的壓縮方式，單泵就可達(dá)到0.0075torr的極限真空。能耗更低，變螺距螺桿真空泵的節(jié)能型設(shè)計(jì)理念，可降低30%的電能消耗，是油封式真空泵良好的替代產(chǎn)品。在半導(dǎo)體行業(yè)里面，油封式的真空泵可以由干式螺桿真空泵替代，大大提升工作環(huán)境的質(zhì)量，進(jìn)而提高所生產(chǎn)出產(chǎn)品的質(zhì)量與性能。