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真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)莘e氣體輸送泵，包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵，具有在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速等特點(diǎn)，被廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。真空泵包括水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等，目前這些泵是我國國民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過程中的主力泵種。

1、在系統(tǒng)中做主泵

所謂主泵就是對真空系統(tǒng)被抽容器直接進(jìn)行抽真空，以獲得滿足工藝要求所需真空度的真空泵。

2、粗抽泵

粗抽泵是指從大氣壓開始降低真空系統(tǒng)壓強(qiáng)達(dá)到另一抽氣系統(tǒng)可以開始工作的真空泵。

3、前級泵

前級泵是指用于使另一個泵的前級壓強(qiáng)維持在其高許可的前級壓強(qiáng)以下的真空泵。

4、維持泵

維持泵是指當(dāng)真空系統(tǒng)抽氣很小時，不能有效的利用主要前級泵。為此，在真空系統(tǒng)中另配一種抽氣速度較小的輔助前級泵來維持主泵的正常工作或維持已5、粗真空泵或低真空泵

粗、低真空泵是指從大氣開始，降低被抽容器的壓強(qiáng)后工作在低真空或粗真空壓強(qiáng)范圍內(nèi)的真空泵。

6、高真空泵

高真空泵是指在高真空范圍工作的真空泵。

7、超高真空泵

超高真空泵是指在超高真空范圍工作的真空泵。

8、增壓泵