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干式旋片真空泵工作原理 干式旋片真空泵應(yīng)用范圍有哪些

  • 文章出處:行業(yè)信息
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  • 發(fā)表時間:2023-04-14 10:33:01

干式旋片真空泵是一種無油、無污染、無噪音的真空泵,采用旋轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu),通過旋轉(zhuǎn)的葉片將氣體抽出,實現(xiàn)真空度的提高。

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與傳統(tǒng)的液環(huán)真空泵相比,干式旋片真空泵的優(yōu)點在于不需要使用潤滑油,避免了油污染和油氣回收問題,同時也避免了潤滑油在高溫環(huán)境下的氧化和分解,從而提高了泵的穩(wěn)定性和可靠性。

干式旋片真空泵的工作原理是:當(dāng)電機帶動旋轉(zhuǎn)葉片旋轉(zhuǎn)時,氣體通過進(jìn)氣口進(jìn)入泵體,被旋轉(zhuǎn)的葉片壓縮并排出泵體,從而實現(xiàn)氣體的抽出。由于泵體內(nèi)部沒有潤滑油,因此氣體被抽出后不會被污染,適用于對氣體純度要求較高的場合。

干式旋片真空泵是一種無油、無污染、無噪音的真空泵,其特點和應(yīng)用如下:

干式旋片真空泵特點:

無油、無污染:干式旋片真空泵不需要潤滑油,避免了油污染和油氣回收問題。

無噪音:干式旋片真空泵運行時噪音低,適用于噪音敏感的場合。

維護(hù)簡單:干式旋片真空泵不需要定期更換潤滑油,維護(hù)簡單,成本低。

真空度高:干式旋片真空泵可以達(dá)到較高的真空度,適用于高真空環(huán)境。

干式旋片真空泵應(yīng)用:

半導(dǎo)體制造:干式旋片真空泵適用于半導(dǎo)體制造過程中的真空抽取,如薄膜沉積、離子注入等。

光學(xué)薄膜制備:干式旋片真空泵適用于光學(xué)薄膜制備過程中的真空抽取,如光學(xué)鍍膜、光學(xué)薄膜沉積等。

醫(yī)療設(shè)備:干式旋片真空泵適用于醫(yī)療設(shè)備中的真空抽取,如血液分離、輸液等。

制藥工業(yè):干式旋片真空泵適用于制藥工業(yè)中的真空抽取,如干燥、濃縮、冷凍干燥等。

實驗室研究:干式旋片真空泵適用于實驗室研究中的真空抽取,如電子顯微鏡、質(zhì)譜儀、表面分析儀等。

干式旋片真空泵的應(yīng)用范圍非常廣泛,在半導(dǎo)體制造、光學(xué)薄膜制備、醫(yī)療設(shè)備、制藥工業(yè)、實驗室研究等領(lǐng)域都有應(yīng)用。


文章來源:http://www.lfredi.cn/news/810.html

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